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  • β-氧化镓晶体中晶格缺陷的无损检测

    2022年12月日本JFCC宣布了与NCT和兵库大学合作,成功地利用异常的X射线透射现象,在短时间内以非破坏性的方式检测并观察到厚度约为0.7mm的β-氧化镓(β-Ga2O3)晶体内的所有晶格缺陷。用于下一代功率半导体的高质量β-Ga2O3晶体有望得到改善。 诸如 "X射线形貌观察"的方...

    30 2022/12
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